МЛП1-ФЕМТО
Описание и отрасли
Применения и особенности
Технические характеристики
Галерея
Описание модели и отрасли применения
Лазерная машина МЛП1-Фемто предназначена для решения задач прецизионной микрообработки фемтосекундным лазером плоских деталей (из металлических и неметаллических материалов) для изделий микроэлектроники, в частности, СВЧ-электроники.
Применения
Особенности
Конструктивные особенности:
- Практически полное исключение колебаний и вибраций конструкции
Достигается за счет размещения оптических и кинематических модулей на двухуровневом гранитном основании (станине), которое устанавливается с использованием виброгасящих элементов. - Возможность использования различных приспособлений для размещения и фиксации изделий
В комплект входит предметный стол, выполненный в виде плиты с Т-образными пазами, служащий основанием для крепления различных оснасток или столов с вакуумным креплением образцов. - Защита оператора
От воздействия лазерного излучения (прямого, отраженного или рассеянного), яркого света и УФ-излучения, газов и продуктов взаимодействия лазерного излучения с обрабатываемым материалом обеспечивается кабинетной защитой, которая имеет сдвижную дверь, смотровые окна, внутреннее освещение и систему блокировок. - Эргономичность конструкции
Конструкция машины обеспечивает работу оператора в комфортном положении. Пульт управления закрепляется на опорном каркасе с использованием подвижного углового кронштейна с регулировкой по углу и расстоянию до оператора. Пульт содержит монитор, полноразмерную клавиатуру и манипулятор типа «мышь».
- Возможность минимизации термического воздействия лазерного излучения на обрабатываемый материал
Достигается при использовании лазера с ультракороткой длительностью импульсов (фемтосекундных) за счет того, что передача энергии в материал при ультракоротких длительностях (10 фс) импульсов лазерного излучения осуществляется за период времени меньший, чем характерное время развития тепловых процессов. - Высокая точность и повторяемость топологии (от нескольких микрон) и возможность достижения высокой плотности расположенных в поле обработки элементов (отверстий, вырезаемых контуров и фрезеруемых деталей)
Достигается использованием прецизионного координатного стола для перемещения изделия в XY-плоскости на безжелезных линейных двигателях, смонтированных на гранитной силовой плите и специализированной оптической системы. - Возможность регулирования размеров лазерного пятна
Обеспечивается использованием в оптической головке сменных фокусирующих объективов. - Управление глубиной фокусировки при обработке изделий с пленочным покрытием и объемной структуризацией
Достигается за счет прецизионной регулировки вертикальной оси Z кинематической системы и модулем машинного зрения, обеспечивающим слежение за профилем обрабатываемого изделия. - Удаление продуктов, выделяющихся при обработках поверхности
Обеспечивается продувкой ассистирующих газов с системой ламинаризации потоков и регулировкой давления. - Контроль параметров в процессе работы
Обеспечивается системами обратной связи и модулем машинного зрения. - Система ЧПУ с комплектом специального программного обеспечения обеспечивает работу всех узлов и модулей комплекса
Программное обеспечение обеспечивает весь цикл обработки: формирование контура, выбор стратегии обработки, а также управление, контроль за работой и самодиагностику системы.
Технические характеристики модели
Тип лазера
Твердотельный с диодной накачкой/ импульсный волоконный
Длина волны излучения
1030±5 нм
Частота следования импульсов лазера
Одиночный - 200 кГц
Средняя мощность
>10 Вт
Максимальная энергия в импульсе при 25кГц
400 мкДж
Длительность импульса
250 – 15000 фс
Качество пучка, M2
<1.3
Фокусные расстояния объективов
35-160 мм
Рабочий ход координатного стола по осям ХY
300х300 мм
Точность позиционирования по осям ХY
Не более 5 мкм
Повторяемость позиционирования по осям ХY
Не более 2 мкм
Скорость перемещения (рабочая\перемещений)
300/1000 мм/сек
Максимальный ход по оси Z
100 мм
Точность позиционирования по оси Z
не более 10 мкм
Гальваносканер + F-theta объектив
опция
Точность позиционирования пятна гальваносканером
2,5 мкм
Несоосная или соосная система слежения за поверхностью
наличие
Управляющая программа
FlexCNC
Электропитание
380В, 50Гц
Потребляемая мощность
Не более 5кВт
Габариты
1300х1900х2000
Вес установки
Не более 2000 кг
Оставьте заявку и мы подберем для вас оборудование
Если у вас имеется техническое задание или чертеж, нажмите кнопку
“У меня есть чертеж”, заполните форму и отправьте заявку.
“У меня есть чертеж”, заполните форму и отправьте заявку.
